1、測量精度高的零件

氣動量儀的分辨率能達到0.1μm，靈敏度較高且重復精度也很高，所以對于精度要求一般的零件不建議使用，通常常見的被測零件公差大小都在5μm~30μm左右。

2、測量光潔度高的工件

氣動量儀適合測量高精度零件，這里也涵蓋了光潔度高的工件，工件的表面粗糙會對空氣的流動造成很大的影響，而氣動測量的關鍵就在于間隙與氣流之間的比例關系，這樣的話測量精度就不好說了。一般常見的被測零件是磨床或精密車床加工，其粗糙度Ra一般是0.8~1.7左右，如果超出這個范圍的話就會對精度有一定的影響，如果這個精度差可以接受的話也是可以使用氣動測量的，但是如果粗糙度Ra大于3.2的話就無法滿足測量精度的要求了。